振膜式傳感器
[拼音]：zhenmoshi chuanganqi
[外文]：vibrating diaphragm transducer
以圓形恒彈性合金膜片為敏感元件的諧振式傳感器。膜片的固有振動(dòng)頻率隨膜片上所受壓力的變化而變化，通過相應(yīng)的測量電路就可獲得與被測壓力成一定關(guān)系的頻率信號。振膜式傳感器廣泛用于壓力測量，它由空腔、壓力膜片、振動(dòng)膜片、激勵(lì)線圈、拾振線圈和放大振蕩電路組成(見圖)。在空腔受壓力影響時(shí),壓力膜片即發(fā)生變形,裝在壓力膜片支架上的振膜則因支架角度改變而發(fā)生剛度變化。膜片的振動(dòng)頻率取決于振膜的剛度、壓力膜片和支架的剛度。在振膜的兩側(cè)分別放置激勵(lì)線圈和拾振線圈。工作時(shí)，激勵(lì)線圈接通交變電流而使膜片產(chǎn)生振動(dòng)，拾振線圈則將所感應(yīng)的振動(dòng)信號送往放大振蕩電路，該信號經(jīng)放大后又正反饋給激勵(lì)線圈，使振膜保持它固有頻率的振動(dòng)。激勵(lì)線圈和拾振線圈還可以用兩個(gè)壓電元件代替，其結(jié)構(gòu)也可做成使振膜直接感受被測壓力。作為拾振器的壓電元件利用正壓電效應(yīng)將振動(dòng)信號送往放大器，該信號經(jīng)放大后又正反饋到作為激振器的壓電元件，利用逆壓電效應(yīng)產(chǎn)生振動(dòng)激勵(lì)以維持膜片的振動(dòng)。為提高穩(wěn)定性，壓電元件的固有振蕩頻率應(yīng)遠(yuǎn)離振膜的固有振蕩頻率，并設(shè)置高頻衰減網(wǎng)絡(luò)抑制高頻振蕩。
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文章名稱：《振膜式傳感器》
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